奧普士OPTEX的傳感器產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例

以下是一些日本奧普士 OPTEX 的傳感器產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例：

激光位移傳感器 CD2H 系列

測量搬運機(jī)器人手臂下垂量：該系列傳感器可用于測量搬運機(jī)器人手臂的下垂量，其測量范圍可達(dá) 1200mm，精度高，且兼容 IO - link，能輕松獲取更精確的測量值，有助于確保機(jī)器人在搬運半導(dǎo)體晶圓等精密部件時的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

測量精細(xì)陶瓷板厚度：可同時在精細(xì)陶瓷板的四個角和中心五個位置進(jìn)行厚度測量，使用 30mm 短程型用于四個角，130mm 中程型用于中心。其最高重復(fù)性為 0.25µm，能保證高精度測量，并且可通過專用免費軟件即時記錄測量值，為陶瓷板在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用提供質(zhì)量保障。

超高精度激光位移傳感器 CDX 系列

切割鋸片撓度測量：CDX - 30A 等型號的激光位移傳感器，光斑尺寸為 ?30µm，可用于測量切割鋸片的側(cè)面和窄端面，不僅能高精度測量寬度，還能測量高度，從而對切割鋸片的撓度進(jìn)行精確監(jiān)測，有助于及時發(fā)現(xiàn)鋸片的變形情況，保證半導(dǎo)體晶圓切割的精度。

緊湊型低成本位移傳感器 CD33 - L30

晶圓定位測量：CD33 - L30 屬于鏡面反射型傳感器，可用于測量機(jī)器人手臂上晶圓的定位。即使對于像晶圓這樣的鏡面物體，也能實現(xiàn)精確的定位測量。配合 UQ1 - 02 作為控制器，可輕松連接到三菱電機(jī) Melsec - Q 系列模塊，且使用專用的 UQ1 導(dǎo)航設(shè)置軟件，方便用戶在使用多個傳感器時進(jìn)行計算設(shè)置，提高了晶圓在生產(chǎn)過程中的定位精度。

位移傳感器 CD5 - W500

測量真空腔中金屬框架翹曲：CD5 - W500 的測量范圍為 500±200mm，可在腔外遠(yuǎn)距離測量半導(dǎo)體框架的翹曲，有助于監(jiān)測真空腔中金屬框架的變形情況，確保半導(dǎo)體制造過程中相關(guān)設(shè)備的穩(wěn)定性和精度。

漫反射型光電傳感器的工作原理是基于光的反射特性來檢測物體的存在或位置，具體如下：

發(fā)射與接收：傳感器由發(fā)射器和接收器組成。發(fā)射器會發(fā)出一束光，通常是紅外線或可見光，光束以一定的角度向周圍空間發(fā)散。當(dāng)光束遇到物體時，部分光線會被物體表面反射回來。接收器則負(fù)責(zé)接收反射光。

檢測判斷：接收器接收到的反射光強度會因物體的距離、表面材質(zhì)、顏色等因素而有所不同。當(dāng)沒有物體在檢測范圍內(nèi)時，接收器接收到的光強較弱，主要是環(huán)境光以及發(fā)射器發(fā)出的光在空氣中散射后被接收器接收到的部分。當(dāng)有物體進(jìn)入檢測范圍時，物體表面反射的光會使接收器接收到的光強顯著增加。傳感器內(nèi)部的電路會將接收到的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，并與預(yù)設(shè)的閾值進(jìn)行比較。如果電信號強度超過閾值，傳感器就會判斷有物體存在，并輸出相應(yīng)的信號，告知控制系統(tǒng)物體已被檢測到。

不同類型的漫反射型光電傳感器在具體性能和應(yīng)用上會有所差異，但基本的工作原理都是基于對物體反射光的檢測和分析來實現(xiàn)物體檢測功能。